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    O. l-0.2 μm
    捕集效率99.9995%以上


    >特点
    -低压损       -高效率
    -重量轻       -厚度薄
    -运行成本低


    >用途
    超LSI制造工场、半导体制造工场、原子力研究中心、无尘室、层流设备、工作台等其它要求超高洁净度的场合。


    >型号尺寸及其他参数